Wie erhalte ich aus Resistivität und Schichtdicke den Fläschenwiderstand in Ohm/Sq? Aktuell hab ich eine Resistivität von 300µOhmcm und eine Schichtdicke von 20nm.
Wie erhalte ich aus Resistivität und Schichtdicke den
Fläschenwiderstand in Ohm/Sq? Aktuell hab ich eine
Resistivität von 300µOhmcm und eine Schichtdicke von 20nm.
Gut erklärt in
http://en.wikipedia.org/wiki/Sheet_resistance
300e-6 [Ohm*cm] / (20e-9m = 20e-7cm ) = 150 [Ohm] = 150 [Ohm/Sq]