Nickel von Silizium lösen

Wissenschaft Naturwissenschaften allgemein
#1

Hallo liebe Experten,

ich stehe vor dem Problem, möglichst einfach eine auf Silizium abgeschiedene Nickelschicht von diesem zu lösen. Die Schicht wird entweder nur stromlos oder stromlos und galvanisch abgeschieden. Das Silizium dient als Opfer, weil eine besonders plane Oberfläche benötigt wird.

Hat jemand Erfahrungen oder Vorschläge zu diesem Sachverhalt? Die Nickelschicht wird sehr filigran ausfallen. Was würdet ihr zum selektiven Ätzen des Siliziums sagen? Welche nasschemischen Möglickeiten gäbe es denn so bzw. welche wurden eventuell schon von Euch mit welchen Erfahrungen probiert?

Viele Grüße
Wittekind

#2

Hallo liebes Wittekind,

Nickel ist in Salz- und Schwefelsäure löslich, Silizium meines Wissens nicht.
Mit ca. 5 %igen Säuren sollte das Lösen problemlos zu bewerkstelligen sein.
Das sind aber keine praktischen Erfahrungen, sondern Mutmaßungen.

Gandalf

#3

Hallo,

der Frager hat sich missverständlich ausgedrückt, aber ich glaube, er will das Nickel „am Stück“ behalten. Dann müsste er das Si auflösen, das könnte mit Flussäure gehen. Darüber müssten die Halbleiterfritzen am besten Bescheid wissen - hallo wo seid ihr?

Gruss Reinhard

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#4

Öhm, also ich finde eigentlich nicht, dass ich mich missverständlich ausgedrückt habe, aber Reinhard hat Recht. Das Nickel soll erhalten bleiben, das Silizium dient, wie schon gesagt, als Opfer.
Im Seilnacht steht, dass Nickel resistent gegen Laugen ist. Also sollte Nickel gegenüber dem Standardätzmittel KOH eigentlich ebenfalls resistent sein. Ein Mitarbeiter von mir meinte, dass dies nicht der Fall ist. HAt jemand damit schon einmal Erfahrung machen können?

Ach ja, ich möchte noch hinzufügen, dass HF eigentlich kein Silizium, sondern Siliziumoxid ätzt. Das macht man sich für die Siliziumätzung insofern zunutze, dass man Salpetersäure und Flusssäure in Kombination verwendet. Dabei oxidiert die Salpetersäure das Silizium und das Oxid wird dann von der Flusssäure geätzt.

Grüße
Wittekind

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#5

Hallo Wittekind,

Öhm, also ich finde eigentlich nicht, dass ich mich
missverständlich ausgedrückt habe,

stimmt, ich habe falsch gelesen.

Das Nickel soll erhalten bleiben, das Silizium dient, wie
schon gesagt, als Opfer.

OK

Im Seilnacht steht, dass Nickel resistent gegen Laugen ist.

Das hab ich auch so in Erinnerung, aber ob Spuren löslich sind, kann vielleicht nicht ausgeschlossen werden. Das kann z.B. Bedeute, daß die Oberfläche angelöst werden kann, oder die Form verliert.

Also sollte Nickel gegenüber dem Standardätzmittel KOH
eigentlich ebenfalls resistent sein. Ein Mitarbeiter von mir
meinte, dass dies nicht der Fall ist.

Nun ja, Versuch macht kluch.
Stell Dir eine Abscheidung her und versuch aus, ob es klappt.

Ach ja, ich möchte noch hinzufügen, dass HF eigentlich kein
Silizium, sondern Siliziumoxid ätzt.

Stimmt.

Das macht man sich für
die Siliziumätzung insofern zunutze, dass man Salpetersäure
und Flusssäure in Kombination verwendet. Dabei oxidiert die
Salpetersäure das Silizium und das Oxid wird dann von der
Flusssäure geätzt.

diese Mischung ist ales andere als harmlos!!!
Wenn Du keine speziellen Abzüge und Schutzkleidung hast, solltest Du die Finger davon lassen, es ist wirklich sehr gefährlich.
Zudem löst sich das Nickel augenblicklich in der Salpetersäure.

Versuch es lieber mit Natronlauge.

Gandalf