Volumenstrommessung mit Gasflussmonitor im Vakuum

Hi alle zusammen.

Ich hätte mal eine Frage zur Funktionsweise eines Gasflussmonitors. Leider habe ich im Internet nichts genaues darüber gefunden, und hoffe nun, dass sich jemand mit diesem Messgerät auskennt. Mit dem Gasflussmonitor soll eine Messung des Volumenstroms an einer Vakuumpumpe durchgeführt werden. Für hilfreiche Infos und Links wäre ich sehr verbunden

MFG
Benjamin

Hi alle zusammen.

Ich hätte mal eine Frage zur Funktionsweise eines
Gasflussmonitors. Leider habe ich im Internet nichts genaues
darüber gefunden, und hoffe nun, dass sich jemand mit diesem
Messgerät auskennt. Mit dem Gasflussmonitor soll eine Messung
des Volumenstroms an einer Vakuumpumpe durchgeführt werden.
Für hilfreiche Infos und Links wäre ich sehr verbunden

Volumenströme lassen sich z. B. mit über Ultraschall-Reflektion messen. Hast Du fragen zu einem bestimmten Verfahren? Der Begriff Gasflussmonitor ist mir nicht geläufig.

moe.

Gasflussmonitor?
Ist das Gas bekannt würde ich einen thermischen Massemesser einsetzen. Ist temperatur- und dichteunabhängig und funktioniert besonders gut bei geringen Drücken.

Gasflussmonitor kann mE alles mögliche nein.

Gruß

Numakukn