Was ist die minimalste Nanometergröße bei CPUs?

Die Technik schreitet ja immer weiter voran und es ist mittlerweile möglich Prozessoren im 35 Nanometerbereich zu fertigen. Jetzt ist meine Frage, wie klein kann man theoretisch einen Prozessor fertigen, ohne dass der Abstand zu den einzelnen Bahnen zu gering wird und einzelne Teilchen (Protonen in diesem Fall)von einer zur anderen Bahn springen könnten?

Ich denke dass diese Fertigung auf Silicium Chips sowieso irgendwann ein Ende hat. Denn erstens ist dieser Rohstoff nicht unbegrenzt verfügbar und zweitens lässt sich die Leistungsausschöpfung aufgrund der von dir genannten Problematik irgendwann nicht mehr maximieren.
Stattdessen forscht man an neuen Technologien, bspw. auf der Grundlage von Kunststoffen. Wie weit man da ist, kann ich aber auch nicht sagen.
Momentan scheint das Ende der Fahnenstange jedoch noch nicht erreicht zu sein, da z.B. TSMC, Hersteller von Grafikchips, neue Fabriken errichtet um jenseits von 32nm Strukturbreite fertigen zu können.